Statek雙端音叉力傳感器
發(fā)布時(shí)間:2024-01-03 08:57:42 瀏覽:438
Statek使用光刻和化學(xué)研磨方法設(shè)計(jì)和制造石英晶體諧振器已有50多年的歷史,并應(yīng)用這種專業(yè)知識(shí)和能力,現(xiàn)在提供雙端音叉(DETF)力傳感器,如圖1所示。
圖1:Statek的DETF力傳感器的圖片
DETF力傳感器的諧振頻率是其尺寸、電極結(jié)構(gòu)和施加的力的函數(shù)。壓縮或拉伸傳感器會(huì)導(dǎo)致相應(yīng)的頻率變化,如圖2所示。一旦校準(zhǔn),測(cè)量頻率的變化就會(huì)得到所施加的力。
圖2:施加力導(dǎo)致頻率相應(yīng)變化的例子
由于DETF力傳感器基于頻率原理工作,因此它們不受振幅噪聲以及傳感器頻率以外頻率的噪聲的影響。因此,系統(tǒng)中的信號(hào)可以在全振幅下工作,從而避免了通常困擾低電平測(cè)量的噪聲。
石英力傳感器與其他力傳感技術(shù)相比,具有靈敏度高、體積小、質(zhì)量低、性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。我們可以定制傳感器的尺寸,以適應(yīng)您的應(yīng)用。
應(yīng)用程序:
加速度計(jì),見圖3。
壓力傳感器,見圖4。
圖3:一種加速度計(jì)的截面。加速度由兩個(gè)晶體之間的頻率差決定。
圖4:壓力傳感器或刻度原理圖。施加力與頻移成正比。
特性:
對(duì)施加的力高度敏感的
小尺寸
基于頻率原理操作
高信噪比
低老化
專為客戶特定的應(yīng)用
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